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国内首家适应规模化集成电路产线工艺的GaN-on-Si外延片量产 2017-08-02 11:43

经过多年的材料优化以及在规模化集成电路产线上的工艺验证,江苏华功半导体有限公司(Jiangsu Sinopower Co., Ltd,简称“SPS®”)率先在国内量产提供适应规模化集成电路产线的Si基氮化镓外延片。该外延材料可以满足大尺寸CMOS集成电路产业流片需求。华功半导体(SPS® )打破了国外企业在此领域的垄断,标志着自主国产GaN功率电子材料与器件的生产和制造进入了集成电路工业化量产阶段!

 

华功(SPS® )HG650V系列GaN-on-Si功率器件用外延产品采用了目前国际上最先进的Si(111)衬底(Al,Ga)N/GaN异质外延沉积技术和具有自主知识产权的高耐压及应力调控层结构,适用于各类650V及以下高速功率开关器件的设计与制造。

 

另外,华功半导体(SPS®)也可根据用户需求,提供深度定制化的外延层结构,外延产品尺寸亦可根据需求调整至:2英寸、4英寸、6英寸及8英寸。

 

 

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